干式真空泵很早就出現(xiàn)了,但沒(méi)有明確的定義。就代替油封式機(jī)械泵來(lái)說(shuō),一般通用的說(shuō)法是: 能在大氣壓到10-2Pa 的壓力范圍內(nèi)工作;在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能使用任何油類和液體、排氣口與大氣相通,能連續(xù)向大氣中排氣的泵, 即稱為干式真空泵(也稱為無(wú)油真空泵)。
干式真空泵的分類
現(xiàn)在市場(chǎng)上提供的干式泵種類很多。就其基本原理來(lái)分, 只有兩類, 即:
① 容積式的無(wú)油真空泵, 例如多級(jí)羅茨泵、爪型泵、往活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。這種干式泵的限壓力一般為0.1～10Pa, 抽速為0.01～ 0.04m 3ös。
② 動(dòng)量傳輸式的無(wú)油真空泵,如渦輪式無(wú)油泵。排氣側(cè)與大氣相接, 在連續(xù)流狀態(tài)下壓縮比較高。它是一種粗抽泵, 可從大氣壓抽到1022Pa。在結(jié)構(gòu)上采用徑向流和周向流泵的復(fù)合式結(jié)構(gòu),多級(jí)串聯(lián)抽氣。這種渦輪式泵的限壓力約為10-2Pa, 抽速為0.02～0.15m 3ös。牽引型干式泵也屬于動(dòng)量傳輸式的干式泵。
這些干式泵和油封式機(jī)械泵相比, 達(dá)到同樣的限壓力, 其殘余氣體成分則全然不同,經(jīng)分析結(jié)果明, 油封泵的殘余氣體, CnHm 氣體(碳?xì)浠衔餁怏w)為其主要成分, 而干式泵的殘余氣體為空氣的組成成分。這就證實(shí)了干式泵的抽氣不再有油的污染了。
有些干式泵在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上, 如泵的傳動(dòng)齒輪和軸承等仍在使用潤(rùn)滑油, 也有用合成油, 如PFPE 油和其油脂等,并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔內(nèi)不存在, 嚴(yán)格來(lái)說(shuō)不是全無(wú)油的泵, 但經(jīng)分析, 這種合成油的成分在泵入口處是微乎其微的,并無(wú)影響。
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